Principi de funcionament d'un netejador de plasma

Plasma cleaners use plasma discharge to generate a high-energy oxidation reaction. Using oxygen or a mixed gas (such as oxygen + hydrogen) in the discharge zone, they form an ion plasma (energy range 5-15 eV). The high-energy electrons and radiation from these plasmas decompose surface contaminants (organic matter oxidation rate >90%), produint productes gasosos o solubles. Aquesta tecnologia ofereix una neteja-sense químics i sense-contacte, la qual cosa la fa adequada per al tractament de superfícies de metalls (com ara l'acer inoxidable i l'alumini) i polímers (com ara PTFE), i és especialment adequada- per netejar components electrònics de precisió i dispositius mèdics.

Pel que fa a l'eficiència de la neteja, els temps de tractament típics oscil·len entre 2 i 10 minuts per lot. Pot eliminar contaminants a nanoescala (mida de partícules<100 nm), reduce surface contact angles by over 40°, and significantly improve material adhesion. Important operating parameters: maintain power between 50-1000W, air pressure between 10-100 Pa, and avoid overheating the substrate (temperature <150°C).